Mae ffwrnais tiwb CVD (Dadodiad Anwedd Cemegol)-a elwir yn gyfan gwbl yn Ffwrnais Tiwb Dyddodiad Anwedd Cemegol-yn fath o offer prosesu thermol a ddefnyddir yn eang ym meysydd gwyddor deunyddiau a pheirianneg. Mae ei brif ddefnyddiau a swyddogaethau yn cynnwys:
Twf Deunydd a Dyddodiad:
Trwy gyflwyno cymysgedd nwy i'r ffwrnais, mae ffwrnais tiwb CVD yn hwyluso dadelfennu nwyon ar dymheredd uchel. Yna mae'r atomau neu'r moleciwlau sy'n deillio o hyn yn dyddodi ar swbstrad solet, gan alluogi cynhyrchu ffilmiau tenau, nanoronynnau a deunyddiau datblygedig eraill.
Prosesu Thermol:
Yn ogystal â dyddodiad deunydd, gellir defnyddio'r ffwrnais tiwb CVD ar gyfer triniaethau thermol amrywiol megis calchynnu powdr, sintering ceramig, arbrofi tymheredd uchel, a phrosesu deunyddiau cyffredinol-ar draws ystod eang o ddeunyddiau, gan gynnwys cerameg, metelau, electroneg, gwydr, cemegau, cydrannau peiriannau, deunyddiau anhydrin, deunyddiau arbenigol, a deunyddiau adeiladu.
Paratoi Ffilm Tenau:
Mae hyn yn cynnwys paratoi ffilmiau metel, ffilmiau lled-ddargludyddion, ffilmiau optegol, a deunyddiau tebyg. Trwy reoli amodau adwaith a chyflenwad deunyddiau yn union, gellir cael deunyddiau ffilm tenau sydd â phriodweddau a strwythurau penodol.
Paratoi nanomaterial:
Mae'r ffwrnais yn galluogi gwneuthuriad nanoddeunyddiau megis nanoronynnau a nanowires. Trwy addasu paramedrau adwaith a deunyddiau swbstrad, gellir syntheseiddio nanomaterials â morffolegau a dimensiynau amrywiol.
Cymwysiadau'r Diwydiant Lled-ddargludyddion:
O fewn y diwydiant lled-ddargludyddion,Ffwrneisi tiwb CVDchwarae rhan ganolog mewn prosesau hanfodol megis dyddodiad ffilm tenau, glanhau wafferi, a thrin arwynebau.
Meteleg powdwr:
Mae'r offer yn berthnasol ym maes meteleg powdr, lle mae'n hwyluso ffurfio deunyddiau metelaidd neu seramig trwy adweithiau nwy -cyfnod.
Paratoi Deunydd Optegol:
Mae'n caniatáu ar gyfer synthesis o ddeunyddiau optegol tryloyw, a ddefnyddir wedyn i wneud dyfeisiau optegol, haenau optegol, a chydrannau tebyg.
Dylunio Strwythurol:
Mae corff ffwrnais ffwrnais tiwb CVD fel arfer yn cynnwys strwythur cragen dwbl.
Mae ffan oeri yn cael ei osod o fewn y ceudod rhwng y cregyn mewnol ac allanol i hwyluso cylchoedd gwresogi ac oeri cyflym tra'n sicrhau bod tymheredd wyneb y gragen ffwrnais yn parhau i fod yn isel.
Mae'r tiwb ffwrnais ei hun fel arfer wedi'i adeiladu o ddeunyddiau -purdeb uchel (fel corundum purdeb uchel).
Mae dau ben y tiwb wedi'u selio gan ddefnyddio fflans dur gwrthstaen gwactod uchel i sicrhau tyndra nwy a gwrthiant tymheredd uchel cadarn.
Rheoli Tymheredd ac Atmosffer:
Mae'r system yn gallu rheoli'r tymheredd mewnol a'r cyfansoddiad atmosfferig yn y ffwrnais yn fanwl gywir i fodloni gofynion penodol amrywiol ddeunyddiau a phrotocolau prosesu.
Mae ganddo system rheoli llif nwy manwl gywir (fel mesuryddion llif arnofio â llaw neu reolwyr llif màs manwl uchel) i fodloni'r gofynion proses penodol sy'n gysylltiedig â gwahanol atmosfferau amddiffynnol. Arbed Ynni ac Effeithlonrwydd Uchel:
Yn defnyddio deunyddiau leinin ffwrnais effeithlonrwydd uchel sy'n arbed ynni (fel ffibrau alwmina amlgrisialog) i wella effeithlonrwydd defnyddio ynni.